前世,euv光刻机的联合研发成功几乎逼近当时人类物理学、材料学以及精密制造的极限,除了光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高,别说asl或nikon,就算是科技实力世界第一的美国,以一国之力,完全自主制造一台euv光刻机,比登天还难。
euv光刻机被称为人类工业皇冠上的明珠!
汤普森院士团队虽然没有研制成功euv,但研究成果对gca的光源和光学精密设备的不断改进贡献极大。
由于孙健重生,濒临破产倒闭的gca浴火重生,重回全球光刻机的龙头企业之一,成为euvllc联盟的重要成员,汤普森院士团队专门研究euv光源7年,取得了不少重要技术成果,euvllc联盟研制成功euv光刻机,肯定不需要15年。
gca将成为全球唯一生产euv光刻机的厂家,atic将成为最大的受益者,虽然孙健也乐见其成,但以美国人的性格,极有可能让atic交出gca的控股权,严禁出口euv到中国,这不是重生者愿意看到的结果。
前世被美国技术封锁,举国之力,孙健穿越前没有看到国产euv光刻机的影子。
经过一年多的努力,bsec已经研究成功8英寸晶圆、250n制程工艺的光刻机,正在抓紧时间研制180n制程工艺的光刻机。
制程工艺不断突破对bsec来说都是突飞猛进的进步,但同nikon和gca相比,还有2代技术差距,没有大肆宣传,避免被仇视中国的美国国会议员盯上。
不到10年时间,从4代技术差距缩短到2代,bsec的管理层和技术人员都尽力了。
孙健知道,要是没有65n制程工艺这道难关挡在光刻机业界的前面,有他出钱出力,bsec在15年内也很难赶上光刻机技术实力雄厚的gca和nikon。
连李昌杰都不知道,bsec研究院院长邓国辉院士和所长钱富强研究员率领光源研究所的140多名研发人员,经过2年半的潜心研究,有孙健不断“点拨”,终于在去年7月研制成功浸没式光刻系统技术,ar激光器发射的193n光源通过纯净水的折射,得到了波长134n的光源,解决了业界遇到的193n波长的世界级难题,还没有申请公司发明专利,秘而不宣。
只能委屈钱富强和140多名研发人员了。
研究员钱富强凭借主持研发成功浸没式光刻系统技术,攻克这项光刻机光源上的世界级难题,凭借这一世界级的重大科研成果,就能申请工程院院士。
邓国辉和钱富强从去年8月开始立项,bsec投资1亿元,带领光源研究所,静下心来开始研发euv。
作为上市公司,bsec发布公告,投资1亿元继续研究193n波长的世界级难题。
即使能得到蔡司公司最先进的透镜和反射镜系统,有资金支持,孙健也怀疑bsec研究院在20年内能否研制成功euv光刻机?
停止研究也不可能买到euv光刻机,20年不行,30年!
“李总,布罗迪先生,余总已经拿到美国商务部的同意文件,我们明天前往美国,180n制程工艺的半导体生产线的基建要加快进度,增加人手,保证11月底完工。”
孙健今天参观的这条bsec研发和生产的500n制程工艺半导体生产线的建设工程已经到了设备安装阶段,按照规划,7月下旬将进行试生产。
“好的,董事长!”
“好的,董事长!”
李昌杰和布罗迪都笑了,他们从心底敬佩孙董事长的精
明和胆识。
pgca这次从gca购买一条180n制程工艺的半导体生产线是为国智电脑公司生产gzcx3准备的,从3月初提交购买申请,pgca就已经开工大规模基建项目,孙董事长笃定美国商务部这次不会反对gca的出口申请。
陈永清院士率领国智cpu研究所台式机cpu研发部的600多名研发人员,从去年10月4日就开始研制比肩pentiu3和athlon700的gzcx3。
gzcx3设计采用双重独立总线结构,内部集成1000万个晶体管,频率从500hz开始,后期可以达到1ghz以上,采用180n制程工艺生产。
研发费用2.5亿元,耗时10个月。
按照规划,国智cpu研究所今年9月前就能研发成功gzcx3,到时候有米没有锅!
这条180n制程工艺的半导体生产线的基建规模庞大,要是放在美国,最少需要12个月的时间,顺圆地产京城集团集中力量,日夜施工,争取在6个月内完成基建工程,进入设备安装阶段,8个月后进行试生产。
gca提前准备好全套设备,提前运往国内。
不是孙健不想提前购买,也不是差钱,而是担心美国商务部以违反《瓦森纳协定为由拒绝,一旦申请被否决,最少要等6个月时间才能再申请。
今年2月,gca和nikon公司研发的9